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半導體高純氣體管道加熱器 坂口電熱柔2M-2-400的應用
坂口電熱 2M - 2 - 400 柔性加熱器是 M2 型細徑柔性加熱元件，SUS316 護套耐 400℃、熱響應快、可彎曲纏繞，在半導體高純氣體管道伴熱場景中能精準控溫防冷凝、適配潔凈室狹小空間 ：
一、核心應用場景與痛點
場景：半導體 FAB 廠的 SiH?、NH?、WF?等高純特氣輸送管道（管徑 Φ10-25mm，多為潔凈室狹小布局，含閥門、接頭、彎管等異形部位）。
痛點：特氣低溫易冷凝，導致純度下降、管路堵塞，影響芯片良率；傳統(tǒng)加熱器難適配窄縫 / 異形段，控溫精度不足。
二、應用方案（以 10m 長 Φ15mm 特氣管道為例）
三、應用效果
控溫精準：熱響應時間≤10s，管道表面溫度均勻，無局部過熱，特氣純度穩(wěn)定在 99.9999% 以上；
適配性強：可彎曲穿過狹小空間，覆蓋傳統(tǒng)加熱器無法觸及的死角，減少設(shè)備改造；
穩(wěn)定耐用：SUS316 護套耐腐蝕，適配高純氣體環(huán)境，連續(xù)運行 MTBF≥8000h；
降低成本：減少因冷凝導致的管路清洗頻率，芯片良率提升 0.3%-0.5%。
四、典型案例（某 12 英寸晶圓廠）
需求：解決 NH?管道冬季冷凝導致的 CVD 沉積異常；
方案：采用 2M - 2 - 400 柔性加熱器，沿 15m 管道及 3 個閥門纏繞，控溫 90℃；
結(jié)果：冷凝現(xiàn)象消除，沉積膜厚均勻性從 ±5% 提升至 ±2%，每月減少 2 次停機清洗，年節(jié)省維護成本約 12 萬元。
五、選型與安裝要點
按管道長度、管徑計算加熱功率，建議每米功率 50-80W，避免功率過載；
安裝前清潔管道外壁，確保無油污、粉塵，提升熱傳導效率；
溫控系統(tǒng)需具備超溫報警、斷電保護功能，符合半導體廠安全規(guī)范。
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